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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

PRODUCT DISPLAY

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全自動(dòng)噴膠機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):SP200-AT

品       牌:其他品牌

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

更新時(shí)間:2025-03-13 08:55:33瀏覽次數(shù):3173次

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工 處理晶圓 25片(標(biāo)準(zhǔn)Cassette),自動(dòng)mapping
電缸有效行程 300mm*300mm 線軌式機(jī)械手自動(dòng)上下片 可連續(xù)自動(dòng)化工藝處理
最大霧化流量 8ml/min,程序可調(diào) 霧化顆粒直徑 30~50um
溫度均勻性 ≤±1%(溫度范圍:RT~150℃) 控溫精度 ±0.5℃
設(shè)備尺寸 1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H)
全自動(dòng)噴膠機(jī)適用于8英寸及以下晶圓的自動(dòng)噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺(tái),具有晶圓真空吸附及自動(dòng)頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機(jī)交互界面,可實(shí)現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

噴膠機(jī)

適用于8英寸及以下晶圓的自動(dòng)噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺(tái),具有晶圓真空吸附及自動(dòng)頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機(jī)交互界面,可實(shí)現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

產(chǎn)品參數(shù)

處理晶圓:25片(標(biāo)準(zhǔn)Cassette),自動(dòng)mapping
電缸有效行程:300mm*300mm
線軌式機(jī)械手自動(dòng)上下片,可連續(xù)自動(dòng)化工藝處理
最大霧化流量:8ml/min,程序可調(diào)
霧化顆粒直徑:30~50um
溫度均勻性:≤±1%(溫度范圍:RT~150℃)
控溫精度:±0.5℃
設(shè)備尺寸:1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H)

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